DG-300-11高壓風機在半導體設備中有哪些作用
2025-11-28
DG-300-11高壓風機在半導體設備中有哪些作用DG-300-11高壓風機在半導體設備中通過提供穩定氣流與壓力環境,在顆粒物清理、正壓維持、氣體輸送、散熱管理、局部真空生成、廢氣處理、設備輔助運行等關鍵環節發揮主要作用,其性能直接影響半導體制造的潔凈度、工藝穩定性及良率。以下為具體作用分析:顆粒物清理與潔凈度維護主要作用:半導體制造對潔凈度要求高(如ISO1級無塵室),微小顆粒污染會導致晶圓缺陷。DG-300-11高壓風機通過產生高壓氣流,可吹除設備內部及晶圓表面的微小顆粒...